其实这个问题很好解决,山东只要注意以下几点就可以了。
[4]图2. 传统的外延技术3.新兴的外延生长方法虽然上述传统的外延方法可以大大降低位错密度,持续但是异质外延层的材料质量仍然不如同质外延层,持续特别是在高度网格不匹配的系统中。除了光电子器件的应用外,发布外延生长和lift-off还有潜力被利用来实现非冯诺依曼计算系统在单个芯片上的非冯诺依曼计算系统,发布其方法是将所需的组件混合集成。
图4.外延lift-off技术[13-16]5.先进外延技术和liftoff技术的应用IBM公司的TASE方法是一种先进的选择性生长技术,暴雨暴雨并伴使用的是亚100nm的氧化物掩膜,暴雨暴雨并伴该方法已被用于演示多种III-V器件在CMOS上的无缺陷集成。[22]图7. 先进的外延lift-off和转移技术的异质集成器件6.展望在垂直堆叠多功能集成电路的晶圆片上生长器件品质的外延层,黄色将会大幅减少集成电路的足迹。(图4c)机械剥落已在IBM的Si、预警有雷Ge、GaAs和GaN基板上得到证明,以生成薄膜CMOS电路,[10]太阳能电池[11]和发光二极管[12]。
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Narayan给出了异质外延过程中错配应变、山东热应变和缺陷相关应变之间相互作用的一般描述。
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